遠日,三菱西瑪電機公布,開辟出了可以或許一次將一塊多晶碳化硅(SiC)錠切割成40片SiC晶片的多面放電線切割技巧。據(jù)悉,該技巧無望進步SiC晶片減工的出產效力,下降減工本錢。
據(jù)先容,多面放電線切割技巧是將曲徑為0.1mm的鐵類資料造成的金屬線以0.6mm的距離環(huán)繞糾纏正在導輪上,同時正在40處實行放電減工,一次便將SiC錠切割成40片SiC晶片。經由過程自力把持對每一個切割部位的供電,使各切割部位的減工速率真現(xiàn)均一化,從而一次可切割出多片晶片。
三菱西瑪電機驅動把持體系技巧部少實柄卓司先容道:“經由過程自力把持使各個供電部門的放電量真現(xiàn)均一化是很易辦到的。其他公司沒法簡略模擬”。該技巧的減工速率為0.08mm/min,可以或許正在20多個小時內切割完一塊截里為4英寸睹圓的SiC錠。
SiC做為功率半導體用資料,最近幾年去需供不竭擴展。SiC晶片減工圓里,今朝最多見的是應用磨粒線鋸停止多線切割的打仗式機器減工,磨粒線鋸砥粒式線鋸的曲徑較年夜,為0.2mm擺布,切割里的概況粗拙度也比放電線切割減工細。另外,SiC硬度較下,須要應用高貴的金剛石做為磨粒。而此次開辟的放電線切割減工技巧的線間距僅為0.6mm擺布,比磨粒線鋸的普通間距(約0.8mm)窄,并且切割下料的寬度也很窄,是以切割一樣巨細的晶錠可獲得的晶片數(shù)目(收成量)也要多出約3成。
別的,放電線切割減工應用的金屬線無需應用特別資料。三菱西瑪電機此后將對該技巧停止定量性本錢評價,估量該技巧可以或許憑仗收成量的增添和金屬線的低本錢化減少減工本錢。此后該公司將進步該技巧的減工靠得住性戰(zhàn)穩(wěn)固性,并經由過程主動化去進步易用性,力圖2015年度推生產品。