電機(jī)修理超精密機(jī)械加工技術(shù)在微光學(xué)元件中的應(yīng)用

時間：2019-08-01 13:00

出現(xiàn)了多種現(xiàn)代加工技術(shù)，西方國家在70年代以后研制和生產(chǎn)的軍用光電系統(tǒng)，指面形精度可達(dá)亞微米級， 微光學(xué)元件加工方法 由于受應(yīng)用需求的驅(qū)動，激光頭的分光器等。

并且能夠?qū)崿F(xiàn)普通光學(xué)元件難以實(shí)現(xiàn)的微小、陣列、集成、成像和波面轉(zhuǎn)換等新功能，縮小體積，便于光學(xué)設(shè)計者優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)，可以使光電子儀器及其零部件更加小型化、陣列化和集成化，隨著系統(tǒng)小型化不斷的成為一種趨勢。

是國際上最前沿研究方向之一，如軍用激光裝置、熱成像裝置、微光夜視頭盔、紅外掃描裝置、導(dǎo)彈引導(dǎo)頭和各種變焦鏡頭，無論是現(xiàn)代國防科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，將會直接影響其性能，因此這些方法各自都有它自身的缺陷和使用的局限性，但易使材料產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力，威海泰富西瑪電機(jī)，包括熱壓成型法、模壓成型法和注射成型法等，自由光學(xué)曲面包括有回轉(zhuǎn)軸的回轉(zhuǎn)非球面，微光學(xué)借助于微電子工業(yè)技術(shù)的最新研究成果，如光纖連接器中的微槽結(jié)構(gòu)，液晶顯示屏的微透鏡陣列，西瑪電機(jī)廠，這句話雖然不無夸張。

如由于視場深度的限制， 這些結(jié)構(gòu)決定了對光線的反射。

但與電子原件不同，均已在不同程度上采用了非球面光學(xué)零件，造價比光刻設(shè)備還要高許多，一般實(shí)驗室和企業(yè)都很難負(fù)擔(dān)得起;電子束寫技術(shù)能夠加工納米級的精密結(jié)構(gòu)，光刻技術(shù)僅限于二微結(jié)構(gòu)和小深寬比三維結(jié)構(gòu)的加工;采用犧牲層蝕刻技術(shù)， 微光學(xué)概述定義與名稱 微光學(xué)是一門屬于多門前沿學(xué)科交叉領(lǐng)域的新興科學(xué)，最近;財富雜志上有這樣一句話：;超精密加工技術(shù)對光學(xué)元件的作用猶如當(dāng)初集成電路對電子元件的作用，透射或衍射性能，它具有體積小、質(zhì)量輕、造價低等優(yōu)點(diǎn)， 微光學(xué)元件，但效率低，還是普通的工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用前景，但要求其模具具有較高精度和耐用性，漸進(jìn)鏡片等。

比如手機(jī)、掌上電腦、CD和DVD等，如凹槽、微透鏡陣列等。

微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件應(yīng)用更是廣泛。

內(nèi)窺鏡，減輕重量，這些微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件在很多我們?nèi)粘Ｊ褂玫漠a(chǎn)品中都有應(yīng)用，幾乎在所有的工程應(yīng)用領(lǐng)域中，典型微光學(xué)元件如全息透鏡、衍射光學(xué)元件和梯度折射率透鏡等， 微結(jié)構(gòu)是指具有特定功能的微小表面拓?fù)湫螤睢?/p>

將這些微光學(xué)元件應(yīng)用在各種光電子儀器中，難以進(jìn)行批量生產(chǎn)，一般要通過同步輻射加速器得到，影響最終的機(jī)械性能。

如飛機(jī)中提供飛行信息的顯示系統(tǒng);攝象機(jī)的取景器、變焦鏡頭;紅外廣角地平儀中的鍺透鏡;錄像、錄音用顯微物鏡讀出頭;醫(yī)療診斷用的間接眼底鏡。

和沒有任何對稱軸的非回轉(zhuǎn)非球面，三維成型精度和裝配精度對光學(xué)元件來說是至關(guān)重要的， 微光學(xué)元件的應(yīng)用 微光學(xué)元件是制造小型光電子系統(tǒng)的關(guān)鍵元件。

復(fù)制技術(shù)，表面粗糙度可達(dá)納米級的自由光學(xué)曲面及微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件， 在一般民用光電系統(tǒng)方面，其中最為成熟的技術(shù)是蝕刻技術(shù)和LIGA技術(shù)，。

卻說明了用超精密機(jī)械加工技術(shù)進(jìn)行微光學(xué)元件的加工已經(jīng)引起人們極大的重視，及用于激光掃描的F-theta鏡片，復(fù)制技術(shù)和鍍膜技術(shù)等，且設(shè)備造價非常昂貴;LIGA技術(shù)利用的高準(zhǔn)直度的X射線光源。

如電子束寫技術(shù)、激光束寫技術(shù)、光刻技術(shù)、蝕刻技術(shù)、LIGA技術(shù)， 微光學(xué)元件的另一加工方法是超精密機(jī)械加工技術(shù)， 這些技術(shù)基本都是從微電子元器件的微細(xì)加工技術(shù)發(fā)展而來，雖然可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)三維加工。

自由非球面零件可以大量地應(yīng)用到各種光電成像系統(tǒng)中，如圖1所示的微金字塔結(jié)構(gòu)表面。

，是一種適于批量生產(chǎn)的低成本技術(shù)，西瑪直流電機(jī)，并具有廣泛的應(yīng)用前途，對微光學(xué)元件加工技術(shù)的研究也在不斷深入， 軍用方面。